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热解吸气相色谱法测大硅片表面的有机污染物

半导体行业使用的有机试剂也会产生相应的挥发性有机物，对生产和环境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃尔默公司热脱附仪与气相色谱质谱联用，可实现洁净室或生产区域内空气的在线或离线采集进样，并检测出低浓度（&lt；ppb）的有机污染物

发布时间： 2023-04-18 广州踏实德研仪器有限公司　 (515)

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半导体，化工材料制造检测中也多用到热解吸仪设备n案列：丙烯酸胶带用于半导体制造工艺中。对在半导体制造中使用的丙烯酸类胶带，通过释放气体分析(EGA)- MS和TD-GC/MS分析加热过程中有恶臭味的瑕疵品和良品，并分析瑕疵品中产生气味的原因。n在半导体器件和化学品制造的分析中，痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用，甚至影响半导体产品的良品率。n半导体制造商需要在整个制造过程中拥有检测超痕量污染物的能力，包括晶圆、超纯水、化学试剂、光刻胶、电子特气、封装材料等。n半导体工艺的进步，对元素杂质和微粒污

发布时间： 2023-04-17 广州踏实德研仪器有限公司　 (549)

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