电热和电磁处理装置基本技术条件 第 416 部分:多晶硅铸锭炉  (GB/T 10067.416-2019)

Basie specifications for electroheating and electromagnetie processing installations Part 416 : Polysilicon ingot furnace

发布时间： 2019-08-30

实施时间： 2020-03-01

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