电热和电磁处理装置基本技术条件 第 417 部分:碳化硅单晶生长装置  (GB/T 10067.417-2023)

Basie specifications for eleetroheating and electromagnetic processinginstallations-Part 417:Silicon carbide crystal growth installations

发布时间： 2023-05-23

实施时间： 2023-12-01

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