洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级  (GB/T 25915.1-2021)

超细粒子(&lt；0.1μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点，规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(&gt；5μm)的粒子浓度，用M描述符对其量化。

发布时间： 2021-08-20

实施时间： 2022-03-01

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