SN-ZK系列 真空等离子处理仪

广东洁盟超声实业有限公司

真空等离子处理仪属于电子工业的干法清洗，在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。通过使用等离子体处理样品表面从而实现表面清洁，表面改性，表面刻蚀，表面接枝的目的，最后将污染物转化为气态，并通过真空泵用连续气流将其排出。

发布时间： 2024-03-22

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